技術文章
Technical articles
一、電阻測試儀(yi) 測試原理:
當四根金屬探針排成一條直線,並以一 定壓力壓在半導體(ti) 材料上時,在1, 4兩(liang) 根探針間通過電流I,則2, 3探針間產(chan) 生電位差V(如圖所示)。
根據公式可計算出材料的電阻率:
其中,C為(wei) 四探針的探針係數(cm),它的大小取決(jue) 於(yu) 四根探針的排列方法和針距。
二、儀(yi) 器操作:
(一)測試的準備:
1 ,將電源插頭插入儀(yi) 器背麵的電源插座電源開關(guan) 置於(yu) 斷開位置;
2,工作方式開關(guan) 置於(yu) '短路"位置電流開關(guan) 處於(yu) 彈出位置;
先將電源開關(guan) 置於(yu) 開啟位置,同量選擇開關(guan) 置於(yu) “短路",出現數字顯示,通電預熱半小時。
3,將手動測試架的屏蔽線插頭與(yu) 電=氣箱的輸入插座連接好;
4,對測試樣品進行一定的處理(如噴沙,清潔等);
5,調節室內(nei) 溫度及濕度使之達到測試要求。
(二)測試:
先將電源開關(guan) 置於(yu) 開啟位置測量選擇開關(guan) 置於(yu) "短路" ,出現數字顯示,通電預熱半小時.
1,放好樣品壓下探失,將測量選擇開處置於(yu) "刻量"位置,板性開處置於(yu) 開關(guan) 上方;
2.選擇適當的電壓量程和電流量程,數字顯示基本為(wei) 0000",著末位有數字,可旋轉調零調節能好使之顯示為(wei) 0000"; .
3.將工作方式開關(guan) 置於(yu) "1調節"按下電流開關(guan) .資動電流調節旋鈕,使數字顯示為(wei) "1000"讀值為(wei) 各電流量程的滿量程值;
4.再將性開笑壓F.便數顯也為(wei) 1000+1,溫出電源開關(guan) 將工作方式開關(guan) 置於(yu) 1或06.28處(探頭問距為(wei) 1.59mm時置於(yu) 1位置問距為(wei) 1mm時置於(yu) 6.28位置):
《師節電流後。上述步疆在以後的肉量中可不必重複:隻要調節好後,接下電流開關(guan) ,可由政顯直接讀出測量值)
5.若數顯爐滅,僅(jin) 剿"1"表示超出該量程電壓值,可將電壓量理開關(guan) 撥到檔位;
6,讀數後,將性開關(guan) 撥至另一方,可讀出負性時的魔量值,將兩(liang) 次測量值取平均數即為(wei) 樣品在該處的電阻率值。
三、注意事項:
1.壓下深頭時壓力要適中,以免想壞探針。
2.由於(yu) 樣品表麵電阻可鬆分布不均,8量時應對一個(ge) 樣品多測幾個(ge) 點然後取平均置:
3.樣品的實際電阻率還與(yu) 其厚度有關(guan) ,還需查時中的厚魔修正案數,進行慘正